仪器型号

VMS-1510G

VMS-2010G

VMS-2515G

VMS-3020G

VMS-4030G

工
作
台

金属台尺寸(mm)

354×228

404×228

450×280

500×330

606×466

玻璃台尺寸(mm)

210×160

260×160

306×196

350×280

450×350

运动行程(mm)

150×100

200×100

250×150

300×200

400×300

      仪器重量（kg）

100

110

120

140

240

    外型尺寸长X宽X高(mm)

540x560x850

760x600x900

970x670x940

        Z轴升降行程    150  mm    

工作距离：108mm

        X、Y、Z数显解析度：0.5μm

X、Y坐标示值误差：≤(3+L/75) μm (L为被测长度，单位：mm)

                 影像系统

摄像机：彩色1/3〞CCD摄像机
视频倍率：33-195X
变倍物镜倍率：0.7X-4.5X

物方视场：8.1-1.3mm（物方视场为对角线的长度）

表面光源与透射光源均用LED，亮度可调

 电源      180V（AC）-260V（AC）50Hz

                     功率           50W（不包含电脑）